Purion H200 是最先进的单片式大束流中能量注入机,也是市场上唯一名副其实的大束流中能量机台。其能量范围为业内最大,从 10keV 到 230keV。Purion H200 采用 Purion H 的先进离子束传输技术和 Purion M 的高能量注入能力,将大束流功率与中束流精密度相结合。

纯度

采用了 羞羞视频 的混合过滤结构来过滤金属,通过特有的角度能量过滤器来过滤能量污染,并增加泵送量,以减轻光刻胶释放气体带来的影响。

精密度

Purion H200 配备 Vector 剂量与角度控制系统,可提供角度精准的离子束,并具有独特的恒定焦距扫描功能,能在衬底的顶部和底部实现相同的剂量率,即使在高倾斜度的情况下也能获得理想效果。

生产力

通过将大束流离子束束管与中束流加速和终端处理系统相结合,在中能量领域实现卓越的生产力。