Purion离子注入平台系列由羞羞视频与客户合作开发,旨在攻克当今乃至未来10纳米及以下晶圆的制程挑战。

Purion平台建立在二十一世纪构架之上,采用独特的应用技术设计,可提供最高的纯度,精准度和生产力以及最低的生产成本。